¾ËÆÄ°í(AlphaGo)¿Í °°Àº Çõ½ÅÀûÀÎ ÀΰøÁö´É(AI)ÀÇ Åº»ýÀº ´õ ºü¸£°í, º¸´Ù ÁýÀûµÈ °í¼º´É¤ýÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶±â¼úÀÌ ÀÖ¾î °¡´ÉÇÏ¿´´Ù. ³ë±¤±â¼ú(Photo-Lithography)Àº ÀÌ·¯ÇÑ °í¼º´É¤ý ÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼¸¦ Á¦Á¶Çϱâ À§ÇØ ±¤(ÎÃ)À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ±âÆÇ¿¡ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®´Â ÇÙ½É ±â¼úÀÌ´Ù.
±¤ÀÇ ÆÄÀåÀÌ ÂªÀ»¼ö·Ï, ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ´õ ¹Ì¼¼Çϱ⠱׸± ¼ö Àִµ¥, ÀÌ´Â 0.7¹Ì¸®(mm) »þÇÁº¸´Ù´Â 0.3¹Ì¸® »þÇÁ·Î ¾µ ¶§ º¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ ±Û¾²±â°¡ °¡´ÉÇÑ °Í°ú °°Àº ÀÌÄ¡ÀÌ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î, ¹ÝµµÃ¼ ȸ·ÎÀÇ ¼±ÆøÀ» ¹ÝÀ¸·Î ÁÙÀÌ¸é ´ÜÀ§ ¼ÒÀÚÀÇ ¸éÀûÀº 1/4·Î ÁÙ°Ô µÇ¾î µ¿ÀÏ ¸éÀû¿¡¼ 4¹è ¸¹Àº ¼ÒÀÚ¸¦ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç Àü±â ¹è¼±ÀÇ ±æÀ̵µ ÁÙ°Ô µÇ¹Ç·Î, ´õ ³·Àº ¼ÒºñÀü·ÂÀÇ °í¼º´É¤ýÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ »ý»êÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
±âÁ¸ ºÒȾƸ£°ï(ArF) ·¹ÀÌÀú ±¤À» ÀÌ¿ëÇÏ´Â °æ¿ì, ¾×ħ ¹× ´ÙÁ߳뱤 ±â¼úÀ» Àû¿ëÇصµ ¼±Æø 10³ª³ë(1nm´Â 10¾ï ºÐÀÇ 1m)ÀÌÇÏÀÇ ÆÐÅÏÀÇ º®À» ³Ñ´Âµ¥ ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖ¾ú´Ù.
EUV(Extreme Ultra-Violet) ³ë±¤±â¼úÀº ºÒȾƸ£°ï ·¹ÀÌÀúº¸´Ù 1/10 ¹Ì¸¸ÀÇ ÂªÀº ÆÄÀåÀ» °®´Â ±ØÀڿܼ±À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®´Â °ÍÀ¸·Î, 10³ª³ë ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®±â À§ÇØ ÇʼöÀûÀÌ´Ù.
EUV ³ë±¤±â¼úÀº ´ÙÃþ ¹Ì·¯, ´ÙÃþ ¸¶½ºÅ©, Æ縮Ŭ, ±¤¿ø, ·¹Áö½ºÆ® µî °íµµÇÑ ±â¼úÀÇ Áý¾àü·Î¼, Áö³ 10¿© ³â°£ »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ ºñ·ÔÇÑ ±Û·Î¹ú ±â¾÷µéÀÌ ±â¼ú ¼±Á¡À» À§ÇØ Ä¡¿ÇÑ ¿¬±¸ °³¹ßÀ» ÇØ¿ÔÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù 7³ª³ë¸¦ ³Ñ¾î¼, 5³ª³ë ½º¸¶Æ®Æù¿ë ¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ÇÁ·Î¼¼¼(AP)ÀÇ ¾ç»ê¿¡ óÀ½ Àû¿ëµÇ¾ú´Ù.
ƯÇãû(ûÀå ±è¿ë·¡)ÀÇ ÃÖ±Ù 10³â°£(‘11³â ~ ’20³â), EUV ³ë±¤±â¼úÀÇ Æ¯ÇãÃâ¿ø ºÐ¼®¿¡ ÀÇÇϸé, ‘14³â 88°ÇÀ» Á¤Á¡À¸·Î ’18³â 55°Ç, ‘19³â 50°Ç µîÀ¸·Î ³ªÅ¸³µÀ¸¸ç, ƯÈ÷ ’19³âºÎÅÍ´Â ³»±¹ÀÎÀÇ Ãâ¿øÀÌ ¿Ü±¹ÀÎÀÇ Ãâ¿ø °Ç¼ö¸¦ ¾Õ¼°Ô µÇ¾î, ±¹³» ±â¼úÀÌ ¼ºÀå±â¿¡ Á¢¾îµé°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ºÐ¼®µÇ¾ú´Ù. [ºÙÀÓ 1]
±â¾÷º°·Î´Â Į¥À̽º(Ô¼) 18%, »ï¼ºÀüÀÚ 15%, ASML(ûú) 11%, ¿¡½º¿£¿¡½ºÅØ(ùÛ) 8%, TSMC(Óæ) 6%, SKÇÏÀ̴нº 1%·Î 6´ë ±Û·Î¹ú ±â¾÷ÀÌ Àüü Ãâ¿øÀÇ 59%¸¦ Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù. [ºÙÀÓ 1].
¼¼ºÎ ±â¼úº°·Î´Â, °øÁ¤±â¼ú 32%, ³ë±¤ÀåÄ¡ ±â¼ú 31%, ¸¶½ºÅ© 28%, ±âŸ 9%·Î ºÐÆ÷µÇ¾î ÀÖ´Ù. °øÁ¤±â¼ú ºÐ¾ß¿¡¼´Â »ï¼ºÀüÀÚ 39%, TSMC(Óæ) 15%·Î µÎ ±â¾÷ÀÇ Ãâ¿øÀÌ 54%¸¦ Â÷ÁöÇÑ´Ù. ¸¶½ºÅ© ºÐ¾ß¿¡¼´Â ¿¡½º¿£¿¡½ºÅØ(ùÛ) 28%, È£¾ß(ìí) 15%, ÇѾç´ë 10%, ¾Æ»çÈ÷°¡¶ó½º(ìí) 10%, »ï¼ºÀüÀÚ 9% ¼øÀÌ´Ù. [ºÙÀÓ 2]
ƯÇãû Ãֹ̼÷ ¹ÝµµÃ¼½É»ç°ú ƯÇãÆÀÀåÀº “EUV ³ë±¤°øÁ¤ ¹× ¸¶½ºÅ© ºÐ¾ß¿¡¼ ¿ì¸®³ª¶ó ±â¾÷¤ýÇа谡 ¼±ÀüÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸í°ú ÇÔ²² °í¼º´É¤ýÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¸¦ À§ÇØ EUV ³ë±¤±â¼úÀÌ ´õ¿í Áß¿äÇØÁú °Í”ÀÌ¸ç “³ë±¤ÀåÄ¡ ºÐ¾ß¿¡ À־µ ±â¼ú ÀÚ¸³À» À§ÇØ ¿¬±¸°³¹ß°ú ÇÔ²² À̸¦ º¸È£ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °·ÂÇÑ ÁöÀç±Ç È®º¸°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù”°í ¸»Çß´Ù.
Ãâó: ƯÇãû ȨÆäÀÌÁö 2020.11.12 º¸µµÀÚ·á
±èÁ¾ÁÖ ±âÀÚ kgu1959@kotera.or.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ±â¾÷Á¤Ã¥Á¤º¸½Å¹®, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>